La pulvérisation cathodique (Sputtering)
C'est en 1852 que Grove a découvert pour la première fois le phénomène de pulvérisation cathodique [2]. C'est avec Plucker (1858) qu'ils ont constaté qu'une décharge électrique entre deux électrodes placées dans une enceinte, en présence d'un gaz inerte sous très basse pression, entraîne la formation d'une mince couche à l'anode constituée du même …